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                  A530氦质谱检漏仪

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                  A530氦质谱检漏仪

                  • 所属分类:氦质谱检漏仪

                  • 点击次数:
                  • 发布日期:2021/05/19
                  • 规格:
                  • 类型:
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                  • 详细介绍

                  A530 描述

                  A530 移动式氦质谱检漏仪(Helium Mass Spectrometer Leak Detector),是一款大抽速(前级泵抽速30 m3/h),低维护、高灵敏度、操作便捷的干泵检漏仪。A530 氦质谱检漏仪轻松检漏,使您放心得到快速准确可靠的测试结果。产品广泛应用于科研院所、航空航天、半导体、半导体气柜,光伏等行业。


                  功能特点

                  大抽速前级泵,工作效率高

                  支持正压检漏,负压检漏

                  优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应

                  自动跟踪本底功能,提供快速可靠的测量结果

                  高可靠性的真空系统和质谱系统确保快速清氦

                  机器卓越的性能支持7*24 小时长时间在线测试

                  双铱丝离子源,系统设计有效的防大气冲击功能

                  配有检漏口精细过滤器,过滤细微杂质,确保机器不受杂质影响和损伤

                  支持氮气破空,不受环境氦气干扰,快速降低本底有可便捷更换过滤器


                  技术参数

                  Z小可检漏率(负压模式)            5×10-13Pa?m3/s 

                  Z小可检漏率(正压模式)            5×10-9Pa?m3/s

                  检漏口压强           粗检        1500Pa

                                    中检        200Pa

                                    精检        40Pa

                  响应时间                       <0.5s

                  启动时间                       ≤2min

                  前级油泵抽速                     30m3/h(8.3L/s)  

                  外形尺寸(W×D×H)                780×420×1100

                  重量                          110Kg


                  常见泄漏率

                  1525482303425820.png

                  检漏方法示意图

                  001.png


                  1525483529737002.png


                  本文网址:http://www.siirtliyiz.com/product/556.html

                  关键词:检漏仪,氦质谱检漏仪,氦气检漏仪

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